高纯气体中的杂质有哪些？

电子工业气体所用气体分为单质气体（如氢、氧、氮„„），多元气体（硅烷，氨、氯化氢）和混合气体（硅烷和氢、磷烷和氮„„）。

气体纯度的含义是指除基本气体外，剩余结尾杂质。气体纯度的等级有多种，如普通纯、高纯和特纯（超纯）。

所谓电子纯是指具体的半导体器件应用而言的。

至于说普通纯、高纯和特纯气体是几个“9”，则与具体杂质含量多少有关。

气体纯度表示通常有两类。

对化学家来说，一般用99%，99.9%，99.99%，99.999%，99.9999%，99.99999%，99.999999%等纯度表示。

那么其余1%，0.1%，0.01%，0.001%，0.0001%，0.00001%，0.000001%为杂质。

那么气体本身的杂质有哪些？来源又是什么呢？