气体纯化器是什么？

气体纯化器也称为净化器，用于净化工艺流程中的气体。净化器用于减少或消除气体中的杂质，如氮气、氧气、甲烷、氢气和二氧化碳。气体净化装置能够去除湿气、碳氢化合物和其他杂质。它们通过催化作用或吸附作用起到纯化效果。有些类型的净化器是消耗品（饱和时必须更换），有些可以再生（可以重新激活）。

气体纯化器的提纯技术

提纯技术包括化学反应、物理吸附、化学吸附等。常用的如催化反应、分子筛吸附、超低温吸附、金属吸气剂吸附，钯合金膜扩散纯化等，常用工艺包括PSA，TPSA等。采用什么样的提纯方法，利用何种工艺主要取决于需分离的杂质以及纯化后的杂质含量要求。

气体纯化器的应用领域

气体纯化器主要应用于①半导体、LED/激光、太阳能光伏行业：器件制备工艺中外延、扩散、MOCVD、离子注入、等离子干刻、光刻、退火、搭接、烧结等工序设备所需的N2、H2、Ar、NH3等气体进行纯化②光纤行业：对保护氮、氦气进行终端纯化③气体行业：对气源气体进行纯化④冷轧行业：对保护氮气进行纯化⑤化工行业：对氮、氢、气/液相烃类脱O2、H2O纯化。