正确选择高纯氩是硅晶体生产中的一个难题

氩气是一种工业上广泛使用的稀有气体。它本质上是非常惰性的，既不能燃烧也不能忍受燃烧。在飞机制造业、造船业、原子能工业和机械工业等部门，氩气经常被用作焊接铝、镁、铜及其合金和不锈钢等特殊金属的保护气体，以防止焊缝空气氧化或氮化。

高纯度氩主要用于焊接、不锈钢制造和冶炼，以及半导体制造过程中的化学气相沉积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨、离子注入、电流载体和烧结。氩气被用作生产单晶硅和多晶硅的保护气体。为了提高硅晶体的质量，如何选择高纯氩是硅晶体生产中的一个问题。通过使用该装置，当氩气纯度小于1ppm，含水量小于1ppm时，所生产的单晶硅的氧、碳含量小于0.5ppm，提高了单晶硅的使用寿命，满足了要求，赢得了客户的满意和市场需求。

由于普通液态氩蒸发后不纯化，其含氧量一般为2ppm ~ 5ppm。有时，天然气供应商提供的氩气超出了这一范围，但使用氩气的客户不知道氩气的质量，这往往会影响所生产产品的质量。对于氩气净化装置，无论氩气原料气的质量如何，只要经过净化装置处理，进入结晶牵引炉的氩气纯度保持不变。一般来说，氧气<0.2ppm，水分<1ppm，因此稳定的氩气可确保晶体生产的质量。