各种大宗气体纯化器种类
气体
纯化工艺
O2
H2O
CO
CO2
H2
NMHC
CH4
N2
催化+吸附(CAT+Absorb)
<1
-
吸附 (Absorb)
吸气(Getter)
吸附+吸气(Absorb+Getter)
钯管
-
He/Ar
纯化
工艺
Acids
Bases
Refractory compound
Organics
XCDA
吸附(Absorb)
纯化原理